考夫曼离子源离子枪光学真空镀膜机应用

日本伯东株式会社，成立于1953 年，全球范围内有一千七百名员工。伯东企业(上海)有限公司系日本伯东株式会社在中国投资的全资公司，公司主要从事半导体设备、电子零部件等加工、销售及相关服务工作，集团年营业额约为100亿人民币。伯东企业（上海）有限公司的总部在上海，同时在中国的北京、苏州、广州、深圳、成都及厦门都设有办事机构。
伯东企业(上海)有限公司真空产品事业部销售众多国际知名真空品牌，代理品牌包含：德国 pfeiffer 全系列真空产品、美国 kri 考夫曼离子源、美国 brooks  polycold 制冷机，美国hva真空阀门，美国 intest温度气流控制设备，日本 ns 离子蚀刻机，真空镀膜系统及配套真空零配件等。
上海伯东作为众多国际知名真空品牌指定授权代理商，负责在中国地区的销售同时提供完善的售后维修服务。公司在上海，深圳及厦门等全国重要区域都设有我们产品的销售和维修中心，可为广大客户提供全系列产品的维护及保养服务工作，100%使用原厂进口零件以及国外受训维修工程师；拥有完全的拆解，维修，校正能力并提供24小时在线服务。
光学镀膜(optics coating),在现代生产被广泛应用,玻璃镀膜、镜片镀膜、显微镜镜片镀膜、装饰灯罩镀膜都是必不可少的生产工艺, 但是在真空镀膜中会出现膜层不均匀,或是产品膜层脱落等现象。所以针对此类问题, 美国考夫曼公司kri（kaufman & robinson, inc）研发了ionsource 离子源，从而解决了此类技术问题。伯东公司为美国考夫曼kri 离子源 中国地区总代理并负责其产品的销售及相关技术支持。
kri离子源离子枪在光学镀膜中主要起到了预清洁及辅助镀膜的作用，
伯东公司客户案例：厦门某光学镀膜企业，该企业使用日本shincron真空镀膜机,如下图所示:
加装kri 离子源离子枪起到预清洁作用，由于膜层表面很光滑，在镀膜时会产生膜层脱落现象，预清洁就是将膜层表面用大的离子如ar打击表面，使得制程物能有效的吸附在表面上。
使用专业测膜记号笔，可以明显看出加装kri 离子源离子枪前后有很大的不同，当然在镀膜中希望的效果肯定是加装后的。
由于客户腔体比较大，大约2 m3左右，所以我们使用的型号是eh 4200，功率比较大的kri 离子源。在预清洁后还会开启进行辅助镀膜，具体效果需要在显微镜下观测，膜层厚度均匀性及附着牢固度都明显提高。
                                                                    工作示意图如上，kri离子枪覆盖面
kri离子源广泛应用在 镀膜 、半导体、显示屏,科研等领域
上海伯东主要经营产品：德国普发pfeiffer 涡轮分子泵,干式真空泵,罗茨真空泵,旋片真空泵; 应用于各种条件下的真空计,真空规管;氦质谱检漏仪,质谱分析仪,四级杆质谱仪;以及美国 hva 真空阀门, polycold冷冻机,gamma 离子泵和美国考夫曼公司 kri 离子源 离子枪霍尔源
若您需要进一步的了解详细信息或讨论, 请参考以下联络方式：
上海伯东：叶小姐                   台湾伯东：林先生
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伯东企业（上海）有限公司
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