多晶硅过程气体分析系统SXM-2100型

多晶硅过程气体分析系统sxm-2100型
sxm-2100系统可连续监测工业硅提纯的三氯氢硅氢还原工艺中氢气的微氧含量和微水含量以及在尾气管道保护气氮气的氧含量和微水含量，从而保证最后提炼超纯硅的品质。
系统特点：
l   取样系统为可插拔式探头，方便更换滤芯
l   过滤器可过粉尘和硅粉，过滤精度为0.3μ
l   大屏幕现场就地显示
l   系统留有分析仪标定口，无须拆卸分析仪
l   采用进口陶瓷阻抗式露点分析仪
技术参数：
l
系统部件：316l不锈钢
l模拟：4-20ma输出
l响应时间：t90<20s
l防护等级：ip65
l电源：24vdc
l防爆标准：符合eex ia iic t4
l工作温度：-20ºc to60ºc
l微水分析仪：
测量范围：-100 to+20ºc
精度：+20~-60°c露点范围内为±1°c
-60~-100°c露点范围内为±2°c
工作压力： 真空～40mpa
计量单位：ppm(w),℃
防爆标准：非现场显示型符合eex ia iic t4
现场显示型符合exd[ia] iict6
l氧含量分析仪：
测量范围：0/10/100ppm  1/10/25%
精度：<1%fs
计量单位：ppm(w),%
大气压力影响：大气压力影响：每变化1毫米汞柱读数变化±0.13%
防爆标准：
nec/cec
class ⅰ,ⅱ,ⅲ,division1
groupsa,b,c,d,e,f,g;
cenelec eex ia ⅱ c t4(60℃)baseefaceet.nos.
ex96d2442 and ex
96d2444
应用业绩：
江西赛维ldk太阳能高科技有限公司
江苏中能硅业科技发展有限公司、
亚洲硅业（青海）有限公司、
江苏顺大光伏科技有限公司、

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上海升贤仪器有限公司
杨克辉
18019112505

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多晶硅过程气体分析系统SXM-2100型
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