1200℃气相沉积炉（CVD炉）

 
hkcvd-1200由开启式单（双）温区管式炉、高真空扩散泵系统、压强控制仪及多通道高精度数字质量流量控制系统组成。可实现真空达0.001pa混合气体化学气相沉积和扩散试验。
主要功能和特点：
1、高真空系统由前级双级旋片真空泵和后级扩散泵组成，最高真空可达0.001pa；
2、可配合压强控制仪控制气体压力实现负压的精准控制；
3、数字质量流量控制系统是由多路质量流量计，流量显示仪等组成，实现气体的流量的精密测量和控制；每条气体管路均配备高压逆止阀，保证系统的安全性和连续均匀性。
4、采用kf快速法兰密封，装卸方便快捷；管路采用世界顶级swagelok卡套连接，不漏气；
5、超温、过压时，自动切断加热电源及流量计进气，使用安全可靠。
主要用途和适用范围：
高校、科研院所、工矿企业做高温气氛烧结、气氛还原、cvd/cvi实验，特别适用于真空镀膜、纳米薄膜材料制备、纳米线生长、电池材料干燥烧结等场所。
技术参数：
hkcvd-1200
本产品通过欧盟ce认证，保证了设备的运行安全.
控温方式
采用人工智能调节技术，具有pid调节、自整定功能，并可编制30段升降温程序。
加热元件
0cr27al7mo2
工作电源
ac220v 50hz/60hz
额定功率
4kw
炉管尺寸
φ60/φ80/φ100*1000mm
工作温度
≤1150℃
最高温度
1200℃
恒温精度
±1℃
加热区长度
440mm或220mm/220mm
升温速度
≤20℃/min
密封方式
不锈钢快速法兰挤压密封
hkcvd-1200-k
真空范围
0.1-0.01pa
极限真空
4.0*10^-4pa
产品配置
双级旋片真空泵+扩散泵
测量方式
复合真空计
真空规管
电阻规+电离规
冷却方式
水冷
工作电源
ac380v 50/60hz
抽 速
100l/s
hkcvd-1200-i
测量范围
1*10^5～1*10^-1pa
稳压(真空)范围
1*10^3～1*10pa
压力(真空)稳定精度
±3%
控制范围
2.5*10^3～5*10^-1pa
控制精度
±1%
hkcvd-1200-ⅲ
控制方式
d07-7k质量流量计,d08流量显示仪
流量规格
0－500sccm/0－1slm（可根据客户需要配置）
线　性
±1%f.s
准确度
±1%f.s
重复精度
±0.2%f.s.
响应时间
≤2sec
耐　压
3mpa
气路通道
3通道（根据客户需求）
针　阀
316不锈钢
管　道
φ6mm不锈钢管
接　口
swagelokφ6mm

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北京汇科华创科技有限公司
张涛
13521557525
知春路128号1号楼602

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