石英坩埚烘箱

   我公司根据单晶硅和多晶硅生产工艺特点，开发的单晶石英坩埚烘箱适用于石英坩埚尺寸16～24英寸，高度为600mm以下的石英坩埚的干燥和保存处理。单晶硅和多晶硅在原料熔化、晶体生长过程中，硅熔体和坩埚长时间接触会产生黏滞性影响后续生产作业。所以单晶和多晶熔炼之前，石英坩埚必须使用专用涂层材料对坩埚内壁进行喷涂固化方可使用。喷涂后的坩埚在专用烘箱内部经高温烘烤后，内壁高温固化后的氮化硅涂层可有效防止长晶时坩埚内壁与熔融硅料粘结，从而方便脱模，也可使坩埚得到重复利用，降低生产成本。同时氮化硅涂层也能起到阻隔层作用，降低多晶硅中的氧、炭等杂质浓度，保证硅料纯度。

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扬州百盛新能源科技有限公司
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