美国Aalborg气体质量流量计

美国aalborginstruments & controls,inc成立于1972年，是世界上著名的气体质量流量计/控制器的生产厂家，其产品广泛用于微电子工艺、真空镀膜、材料科学、石油化工、医药、环保等领域。
产品特点：性价比高、响应速度快、可靠性高，易于集成、环路保护、备总量计数器
典型应用：cvd、pvd、刻蚀、等离子注入、溅射、ito、玻璃镀膜、表面处理等镀膜工艺。
设计特点：
－刚性金属结构
－流程范围从0开始到10sccm直到0到1000slpm
－最大压力500psig（34.5bar）
－泄漏率1＊10-7氦气
－nist系统标定可追踪的证明
－可倾斜的lcd读表
－0-5vdc或4-20ma信号输出
－电路保护
－可用作便携式的设备
－0到100％比例显示
－可配备流量计算机

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广州迈道液压设备有限公司
张诚
15521327678
广州市白云区潭村宝鸭北路75号203房

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