卓力达 掩膜板 高精密公差可控制在±0.002mm

光掩膜 在半导体制造的整个流程中，其中一部分就是从版图到晶圆（wafer）制造中间的一个过程，即光掩膜或称光罩(mask)制造。这一部分是流程衔接的关键部分，是流程中造价*的一部分，也是限制最小线宽的瓶颈之一。
应用领域及种类　
光掩膜除了应用于芯片制造外，还广泛的应用与像lcd，pcb等方面。常见的光掩膜的种类有四种，铬版(chrome)、干版，凸版、液体凸版。主要分两个组成部分，基板和不透光材料。基板通常是高纯度，低反射率，低热膨胀系数的石英玻璃。铬版的不透光层是通过溅射的方法镀在玻璃下方厚约0.1um的铬层。铬的硬度比玻璃略小，虽不易受损但有可能被玻璃所伤害。应用于芯片制造的光掩膜为高敏感度的铬版。干版涂附的乳胶，硬度小且易吸附灰尘，不过干版还有包膜和超微颗粒干版，其中后者可以应用于芯片制造。(顺便提一下，通常讲的菲林即film，底片或胶片的意思，感光为微小晶体颗粒)。在刻画时，采用步进机刻画(stepper)，其中有电子束和激光之分，激光束直接在涂有铬层的4-9“玻璃板上刻画，边缘起点5mm，与电子束相比，其弧形更逼真，线宽与间距更小。光掩膜有掩膜原版(reticle mask，也有称为中间掩膜，reticle作为单位译为光栅)，用步进机重复将比例缩小到mastermaks上，应用到实际曝光中的为工作掩膜(wo*ng mask)，工作掩膜由mastermask复制过来。
制造流程和检测流程 1，数据转换将如gdsii版图格式分层，运算，格式转换为设备所知的数据形式。(这一部分会产一些具体的描述)
2，图形产生 通过电子束或激光进行图形曝光。
3，光阻显影 曝光多余图形，以便进行蚀刻。
4，铬层刻蚀 对铬层进行刻蚀，保留图形。
5，去除光阻 去除多余光刻胶。
6，尺寸测量 测量关键尺寸和检测图形定位。
7，初始清洗 清洗并检测作为准备。
8，缺陷检测 检测针孔或残余未蚀刻尽的图形
9，缺陷补偿 对缺陷进行修补。
10，再次清洗 清洗为加蒙版作准备
11，加附蒙版 蒙版(pellicle)加在主体之上，这防止灰尘的吸附及伤害。
12，最后检查 对光掩膜作最后检测工作，以确保光罩的光掩膜的基本检查大体有：基板，名称，版别，图形，排列，膜层关系，伤痕，图形边缘，微小尺寸，绝对尺寸，缺欠检查等。
数据处理的工艺要求 对于数据处理主要来自于工艺上的要求，在图形处理上有：
1，直接对应 光掩膜直接对应到版图的一层，如金属层。
2，逻辑运算光刻图形可能由1层或多层版图层逻辑运算而来。比如定义pplus与nplus互补，如果只有pplus，nplus将由pplus进行逻辑非的运算得来。在实际处理中以反转的形式实现。不过值得注意的是，在进行某些逻辑运算时，图层的顺序十分重要。与反转运算结合进，运算的先后顺序也很重要。
3，图形涨缩即进行size操作，比如gate处的注入层，从gatesize放大而来。
完整的光掩膜图形中，除了对应电路的图形外，还包括一些辅助图形或测试图形，常见的有：游标，光刻对准图形，曝光量控制图形，测试键图形，光学对准目标图形，划片槽图形，和其他名称，版别等logo。
 
产品介绍
产品名称:金属掩膜板材料材质:sus304不锈钢材料厚度(公制):0.05mm-1.0mm产品用途:用于科学研究实验仪器配件，半导体、通讯配件等产品特点:各种复杂外形蚀刻加工无毛剌产品价格:以材料材质、厚度、精度要求、量产数量综合核定蚀刻加工能力:卷对卷曝光机可大批量生产，每天生产高达1000平方米样品提供:付费打样，样品控制在3天内，最快24小时出样批量生产时间:正常一星期内产品检测及售后:二次元、影像仪24小时服务18932203300，产品蚀刻特点一、低开模费，任意外形的模具更改，降低设计开发成本二、能实现金属的半刻，添加logo，品牌化生产三、极高的精密度，*可达+/-0.01mm四、复杂外形产品，同样可以批量化，保质保量生产五、没有毛刺，压点，产品不变形，不改变材料性质六、厚薄材料都可以一样加工，满足不同金属掩膜版板生产要求七、几乎所有金属都能被蚀刻，对各种图案设计无限制八、制造各类机械加工所无法完成的金属部件。
南通卓力达金属科技有限公司本着“专注创新，以质为根，专心服务，以客为尊”的理念和本着负责，公开的原则向您郑重承诺：  
1.我司以稳定的，高品质的金属掩膜版原材料进货渠道（日本进口，国内实达-鞍钢下属公司），先进的生产工艺（iso9001-2008，精益生产，现场改善），强大的技术力量配置（高级研发工程师8人，工程师16人，技术员20人）及先进的生产设备（美国进口蚀刻机）来保证产品品质。 2.金属掩膜版样品制作：配备样品制作小组，在三个工作日内完. 3.我司以强大的技术力量（高级研发工程师8人，工程师16人，技术员20人）和先进的生产设备（美国进口蚀刻机）来保证准时的交货期限。 4.交货方式：以安全，美观，环保的捆包方式，24小时不间断发货（配备货车5台），如需快递可在48小时内到达，于我司合作的快递公司为国内知名品牌顺丰快递。 5.售后服务：客户对我司金属掩膜版提出质量异议，公司会在接到客户提出异议后12小时内作出处理意见，若需现场解决，将会派出专业技术人员及品质人员，并做到质量问题不解决服务人员不撤离，对每次客户反馈的蚀刻产品质量问题及处理结果我司将予以存档。  
金属掩膜版
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