供应磁控等离子体化学气相沉积系统
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- 提供加工定制：否
- 型号：
- 别名：
- 适用范围：
- 炉膛最高温度：
- 工作温度：
- 装载量：
- 工作室尺寸：
- 外形尺寸：
- 规格：
●真空环境：1.0*10-5pa
●采用磁控等离子体化学气相沉积各种薄膜
●磁控电容耦合式，电磁场可调（0-300gauss）
●真空室（320mm）上盖为自动翻开式：温度：27-700c
阴极：5“水冷，间距可调；阳极：5”，室温-700c可调
●机械泵：8升/分钟
●分子泵：600升/秒 ●手动/技算机控制
上海工盛真空机械有限公司
胡君
13816336765
上海市松江区叶榭镇东勤公路永联325号
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